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熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

簡要描述：Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設(shè)計(jì)特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積，提供了實(shí)惠的價(jià)格點(diǎn)，同時(shí)保持了您期望從 KJLC 獲得的質(zhì)量。

  • 產(chǎn)品型號：NANO 36™
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間：2024-08-14
  • 訪  問  量： 288

詳細(xì)介紹

NANO 36™
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的緊湊型濺射或熱蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

Kurt J. Lesker Company® NANO 36™ 是我們優(yōu)化的入門級沉積系統(tǒng)。我們的腔室設(shè)計(jì)特別適合手套箱集成。NANO 36 具有更高的功能和更小的占地面積，提供了實(shí)惠的價(jià)格點(diǎn)，同時(shí)保持了您期望從 KJLC 獲得的質(zhì)量。

NANO 36 與以下沉積技術(shù)兼容：

  • 熱蒸發(fā)（最多四個(gè) 2 英寸船組件）。

  • Torus® 磁控濺射源（最多三個(gè) 2“ 或 3" 源）。

  • 1cc 或 10cc LTE 有機(jī)沉積源（最多四個(gè)）。

  • 兩個(gè)熱源和兩個(gè) LTE 源的組合。

  • 可根據(jù)要求提供定制配置。

KJLC的軟件允許用戶友好的配方創(chuàng)建，以及一個(gè)可靠、不間斷的處理模塊，無論計(jì)算機(jī)用戶界面的狀態(tài)如何，都可以完成過程。有關(guān)此直觀、且可靠的軟件包的更多信息，請參閱“軟件"選項(xiàng)卡。


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