1. 產(chǎn)品概述：

Laurell的EDC-650-15B型勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，具有先進(jìn)的功能。這款650系列EDC系統(tǒng)將可容納高達(dá)300mm的晶圓和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板。雖然這個系統(tǒng)有12,000RPM的能力帶真空壓緊裝置，建議僅用于3,000RPM和非真空吸盤。

2. 設(shè)備原理

利用電機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時所產(chǎn)生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3. 產(chǎn)品特色：

650系列過程控制器采用堅固的微處理器，并使用其隨附的PC軟件（編寫在面向?qū)ο蟮木幊陶Z言中），它在過程中都實現(xiàn)了高的靈活性定義和使用。該控制器允許操作員在流程執(zhí)行過程中進(jìn)行實時交互，包括暫停時間、停止和從該點(diǎn)繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。

650系列控制器也可以與帶有Spin3000（Laurell的過程管理軟件）的PC結(jié)合使用。使用PC增加了在運(yùn)行過程、遠(yuǎn)程操作、編程或通過LAN或Internet進(jìn)行通信時記錄過程的能力。該軟件免費(fèi)提供，使操作員能夠創(chuàng)建虛擬過程模擬，甚至超出硬件安裝的旋轉(zhuǎn)處理器的能力，實際上讓他們在進(jìn)入過程之可以嘗試一下。所有650個系統(tǒng)都可以通過簡單的插件模塊進(jìn)行升或重新使用，而無需返回工廠，無論是實際還是虛擬，并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。