1. 產(chǎn)品概述

KS-S300全自動(dòng)噴霧式涂膠機(jī)是一款創(chuàng)新型設(shè)備，通過超聲波技術(shù)將光刻膠霧化為微小顆粒，能夠在較大深寬比的圖形表面上以高分辨率均勻涂敷光刻膠。此技術(shù)的應(yīng)用顯著增強(qiáng)了涂膠效果，使得光刻膠能夠有效覆蓋溝槽的側(cè)壁和邊緣，從而避免了在傳統(tǒng)涂膠方式中常見的溝槽內(nèi)堆積現(xiàn)象。這種精確涂布不僅有助于提高成品的質(zhì)量，也能顯著節(jié)省光刻膠的使用量，降低材料成本。

針對輕薄易碎的襯底，KS-S300特別設(shè)計(jì)了靜態(tài)噴霧式涂膠系統(tǒng)。通過在涂膠過程中避免高速旋轉(zhuǎn)，這種設(shè)計(jì)有效降低了襯底破裂的風(fēng)險(xiǎn)，從而保護(hù)了高價(jià)值的材料，確保生產(chǎn)過程的安全性和可靠性。

KS-S300的應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，包括半導(dǎo)體封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造（MEMS）及其他高科技領(lǐng)域。它不僅提升了工作效率，降低了材料浪費(fèi)，還在精度和一致性方面滿足了嚴(yán)格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。此外，該設(shè)備已順利通過SEMI S2認(rèn)證，進(jìn)一步證明了其在安全性和質(zhì)量控制方面的可靠性。

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢：

旋流式錐形霧化可均勻覆蓋高深寬比臺階的邊緣和底部

旋轉(zhuǎn)加熱式承片臺有效節(jié)省光刻膠
承片臺靜態(tài)噴涂規(guī)避輕薄襯底碎片風(fēng)險(xiǎn)
噴嘴具備內(nèi)外自動(dòng)清洗功能

3. 應(yīng)用域：

封裝
OLED域
MEMS