1. 產(chǎn)品概述

SES系列 8英寸多片硅外延系統(tǒng)為單腔多片式硅外延設(shè)備，適用于4、5、6、8英寸的硅外延工藝。SES系列反應(yīng)腔室采用多片平板式的結(jié)構(gòu)，配合感應(yīng)加熱的方式實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的外延薄膜生長，適用于厚度5-150µm范圍的外延工藝，精確可調(diào)N型、P型摻雜。該設(shè)備智能化人機(jī)交互設(shè)計與高效的安全互鎖保障了系統(tǒng)安全和穩(wěn)定。

2. 設(shè)備用途/原理

SES系列 8英寸多片硅外延系統(tǒng)，適用于 5-150 微米范圍的硅外延工藝，優(yōu)良的感應(yīng)加熱和氣流場技術(shù)提供了優(yōu)良穩(wěn)定的工藝性能，多片平板式設(shè)計，高容載量，自動化程度高、產(chǎn)能高、低運(yùn)營成本。

3. 設(shè)備特點(diǎn)

晶圓尺寸 4、5、6、8 英寸，適用材料 硅，適用工藝 N&P 硅外延，適用域 科研、集成電路。